| 输出流量(ml/min) | 0-510 | 
| 输出压力(MPA) | 0.02-0.7(稳压输出) | 
| 输出压力波动(%) | <0.2 | 
| 气体纯度(%) | >99.9995 | 
| 二次压力保护(MPA) | 0.76 | 
| 电源电压 | 220±15% 110±15% 50-60Hz | 
| 输入功率(W) | <100 | 
| 外型尺寸 长×宽×高(mm×mm×mm) | 330×155×340 | 
| 整机重量 | <15 | 
| 毛重/净重 | 15kg | 
| 包装尺寸 | 330×155×340 | 

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