| 波长范围 | 130nm-180nm |
| 焦距 | 360mm |
| 光栅刻线数 | 300条/mm |
| CCD像素分辨率 | 12PM |
| 最大功率 | 200W |
| 平均功率 | 1200W |
| 待机功率 | 70W |
| 光学系统 | 帕刑-龙格结构罗兰圆光系统 |
| 高度 | 1130mm |
| 深度 | 720mm |
| 宽度 | 840mm |
| 重量 | 160kg(不含真空泵) |
| 电源 | 110/230V(50/60Hz) |
| 频率 | 100-500V |
| 读出系统 | 采用最新技术的外部PC工作站 |
| 产地 | 德国 |

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