波长范围 | 130nm-180nm |
焦距 | 360mm |
光栅刻线数 | 300条/mm |
CCD像素分辨率 | 12PM |
最大功率 | 200W |
平均功率 | 1200W |
待机功率 | 70W |
光学系统 | 帕刑-龙格结构罗兰圆光系统 |
高度 | 1130mm |
深度 | 720mm |
宽度 | 840mm |
重量 | 160kg(不含真空泵) |
电源 | 110/230V(50/60Hz) |
频率 | 100-500V |
读出系统 | 采用最新技术的外部PC工作站 |
产地 | 德国 |
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