| 测量参数 | Ra、Rz、Ry、Rq、Rt、Rp、Rv、、Rmax、R3z、RSk、RS、RSm、R'mr | 
| 测量范围 | Ra | 
| Rz、R'q、Ry、Rt、Rmax、:0.02μm-160μm | |
| RSm、RS | 2μm-1000μm | 
| R'mr | 0-100%(%R't) | 
| 量程范围 | ±20μm、±40μm、±80μm、 | 
| 最高显示分辨率 | 0.001μm | 
| 滤波方式 | RC、PC-RC、GAUSS、D-P | 
| 取样长度l | 0.25mm,0.8mm,2.5mm,自动 | 
| 评定长度l | 1L-5L(可选) | 
| 测量行程长度 | 3L-7L(可选) | 
| 最大驱动行程 | 17.5mm/0.71inch | 
| 最小驱动行程 | 1.3mm/0.052inch | 
| 示值误差 | ≤±10% | 
| 示值变动性 | ≤6% | 
| 针尖角度 | 90° | 
| 显示方式 | 128×64点阵液晶 | 
| 针尖半径 | 5μm | 
| 显示 | 128×64点阵 | 
| 工作温度 | 0-40℃,相对湿度<90% | 
| 主机外形尺寸 | 140mm×52mm×48mm | 
| 重量 | 440g | 
| 毛重/净重 | 440g | 

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