| 测量参数 | Ra、Rz、Rq、Rt | 
| 测量范围 | |
| Ra | 0.025μm-12.5μm | 
| 最大量程范围 | 160μm | 
| 滤波方式 | RC、PC-RC、GAUSS、D-P | 
| 取样长度l | 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm,三档可选 | 
| 评定长度 | 5L | 
| 测量行程长度 | 7L | 
| 最大驱动行程长度 | 18mm/0.71inch | 
| 最小驱动行程长度 | 1.8mm/0.071inch | 
| 示值误差 | ≤±10% | 
| 示值变动性 | ≤6% | 
| 针尖角度 | 90° | 
| 显示 | 段码显示 | 
| 针尖半径 | 5μm | 
| 工作温度 | 0-40℃,相对湿度<90% | 
| 外形尺寸 | 140mm×52mm×48mm | 
| 重量 | 440g | 
| 毛重/净重 | 440g | 

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